ハニカム構造部材のろ過精度0.003μm推奨流量20～400 L/min

●高ろ過精度、低圧力損失
当社の従来製品PGFシリーズの高いろ過性能を維持した上で、低圧力損失を実現しました。外形寸法は従来のPGFシリーズと全く同じで、処理能力は従来の約2倍に達した。

●エッチングや薄膜形成に不可欠な高い選択性
高い選択性を追求する過程で、極めて重要な点は水、酸素などの不純物を除去する問題である。不純物の除去を確実に行うためには、まず欠かせないのが、高温状態での焼成です。この観点から開発されたセラミックフィルターは、200℃の高温焼成が可能である。

●メンテナンスゼロによるコスト削減
粒子粒径の大きさに応じて段階的にろ過できる三層構造であるため、目詰まりの問題はほとんどない。また、従来のフィルターに比べて耐久性が高く、耐熱性が高いという特徴を持つセラミックフィルターは、使用中に故障することがない。したがって、生産ラインの一時中断による経済的損失を招くことなく、長期にわたってコスト削減を継続することができる。

仕様：